Online-Plasma-Reinigungstechnologie
Plasmareinigung des LCD-Displays
Beim COG-Montage- und Produktionsprozess von LCD-Displays sollte der IC auf dem ITO-Glasstift montiert werden, damit der Stift auf dem ITO-Glas und der Stift auf dem IC miteinander verbunden und leitend werden können. Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Feindrahttechnologie stellt das COG-Verfahren immer höhere Anforderungen an die Sauberkeit der ITO-Glasoberfläche. Daher dürfen vor dem IC-Bonden keine organischen oder anorganischen Substanzen auf der Glasoberfläche zurückbleiben, um den Einfluss zu verhindern der Leitfähigkeit zwischen ITO-Glaselektrode und IC BUMP und späteren Korrosionsproblemen.
Im aktuellen ITO-Glasreinigungsprozess und COG-Produktionsprozess versucht jeder, eine Vielzahl von Reinigungsmitteln zu verwenden, wie z. B. Alkoholreinigung, Ultraschallreinigung, um das Glas zu reinigen. Allerdings kann die Einführung von Reinigungsmitteln andere damit verbundene Probleme verursachen, wie z. B. Reinigungsmittelrückstände. Daher ist es für die Hersteller von LCD-COGs ein Anliegen, eine neue Reinigungsmethode zu erforschen.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 29. August 2022
